扫描电子显微镜—能谱仪(SEM-EDS)
发布时间: 2012-04-04 浏览次数: 237

扫描电子显微镜—能谱仪(SEM-EDS)

描电子显微镜能谱仪(SEMEDS
仪器型号SEMJSM5600LV EDSIE 300 X
生产厂家:SEM:日本JEOL;EDS:英国Oxford
主要配置
SEM:二次电子探测器,背散射电子探测器;EDS:Si(Li)超薄窗;X射线探测器,全数字化脉冲处理器;喷金仪,喷碳仪。
主要技术指标
l SEM:高真空分辨率3.5nm,低真空分辨率4.5nm;
l SEM: 放大倍数范围18-300,000;
l EDSMn的Kα处的分辨率优于132eV;可测元素范围4Be-92U。
主要用途
Ø 固体样品表面微区形貌观察;
Ø 材料断口形貌及其内部结构分析;
Ø 微粒或纤维形状观察及其尺寸分析;
Ø 固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。