场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)
发布时间: 2015-09-23 浏览次数: 313

仪器型号S-4800

生产厂家:日本HITACHI

主要配置:二次电子探测器(高位/低位),5轴马达驱动样品台,具有电子束减速功能的电子光学系统,Quantax 400X射线能量色散谱仪(德国Bruker)

主要技术指标:分辨率:1.0nm (15kV)2.0nm (1kV)1.4 nm (1kV, 减速模式);加速电压:0.530 kV;样品最大尺寸:直径100mm;能谱能量分辨率:129 eV

主要用途:块状固体、纤维、薄膜等材料的表面或断面微观形貌观察;微纳米尺度微粒、孔洞等形状的观察及尺寸分析;微区元素及其分布测试。

仪器责任教师:杨健茂(B117室)